真空干燥機在準備階段，以羅茨泵7為主泵，旋片泵9和10為前級泵的主真空系統(tǒng)，通過主真空閥1，對真空罐Ⅱ抽真空。蒸發(fā)器I中已通過泵51注入了適當量的煤油。在真空罐抽真空的同時，維持泵34通過冷凝液收集罐Ⅲ、冷凝器38、旁通閥52對蒸發(fā)器抽真空。抽到接近于當時溫度下煤油對應(yīng)的飽和壓力。這樣可以認為整個系統(tǒng)的氧氣全排除。然后過飽和水蒸氣通過入口閥50對煤油加熱蒸發(fā)。

　　準備階段完了，主真空閥1關(guān)閉，主真空系統(tǒng)停止工作。煤油蒸氣進入真空罐，直接冷凝成液體的煤油，返回到蒸發(fā)器。真空罐中還有部分沒有被直接冷凝的煤油蒸氣、水蒸氣和泄漏空氣，同時進入主冷凝器38.蒸氣冷凝成液體進入冷凝液收集罐Ⅲ進行沉淀分離，空氣則通過泵34排往大氣。

　　高真空階段與準備階段一樣，由主真空系統(tǒng)對真空罐抽真空。雖然在降壓階段真空罐中的煤油基本排凈，但絕緣中還會有殘留煤油。在高真空階段進入真空系統(tǒng)的氣體含有一定的煤油蒸氣，在前級冷凝器6和中間冷凝器8中冷凝成液體，收集在罐22和23中，積累到一定的量，排人大收集罐Ⅲ中。

　　閥4是放氣閥干燥完了后，可向真空罐充氣的閥門。

　　真空計31、37和49用以測量相應(yīng)部位的壓力。壓力開關(guān)30用于真空罐中壓力小于給定值時提供信號。壓力開關(guān)48和32用于一旦泵統(tǒng)發(fā)生漏氣超過給定值時的報警。壓力開關(guān)36和調(diào)節(jié)閥35配合工作，以自動調(diào)節(jié)冷凝系統(tǒng)的壓力。手動閥40用以調(diào)節(jié)返回的煤油量，以反饋的方式調(diào)節(jié)蒸發(fā)器的加熱功率。

　　閥13、14用于前級泵停止工作后泵人口充氣。